低溫液氮探針臺 低溫液氦探針臺特征 1.真空腔體:真空度優于6×10-3Pa。降溫后優于6×10-4Pa。留有2個用戶法蘭接口(可接入氣體或者額外的電纜); 2. 探針控制:標配4個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm,調節...