低溫液氦探針臺特征

1.真空腔體：真空度優于6×10^-3Pa。降溫后優于6×10^-4Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；

2. 探針控制：標配4個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

3. 顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：0.58X~7X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約280倍。可選2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦；

4. 變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K。控溫穩定性優于±0.5K；

5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；

6. 系統直流漏電低于1pA。

7. 產品含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀。

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