如何優化納米位移臺的掃描路徑?
優化納米位移臺的掃描路徑可以提高掃描精度、減少滯后、降低能耗,并減少機械與電氣噪聲干擾。以下是優化掃描路徑的關鍵策略:
1. 選擇合適的掃描模式
不同的掃描模式會影響定位精度和響應速度,常見掃描模式包括:
Raster Scan(柵格掃描):逐行掃描,適用于圖像采集,但易受回程滯后影響。
Serpentine Scan(蛇形掃描...
如何減少納米位移臺的爬行誤差
納米位移臺的爬行誤差(Creep Error)主要由材料的遲滯效應和應力松弛引起,特別是在壓電驅動器和柔性鉸鏈結構中。減少爬行誤差的方法包括以下幾個方面:
1. 預加載和預處理
施加預加載:在壓電驅動器上施加適當的預載荷,減少材料內部應力變化導致的爬行。
預運行(Preconditioning):在正式實驗前,運行位移臺一段時...
納米位移臺在長期使用中的漂移如何校正?
2025-03-17新聞
納米位移臺在長期使用中會出現漂移,主要由熱漂移、蠕變(Creep)、材料松弛、環境變化等因素引起。要有效校正長期漂移,可以從硬件優化、閉環控制、誤差補償等方面入手:
1. 硬件優化:減少漂移源頭
(1)優化材料選擇
低熱膨脹材料:使用低熱膨脹系數材料(如 Zerodur、鈦合金、Invar 等)減少溫度引起的漂移。
低滯后...
如何防止納米位移臺在長時間運行時出現漂移?
防止納米位移臺長時間運行漂移的方法
長時間運行時,納米位移臺可能因 熱漂移、滯后、材料蠕變、外部干擾 等因素導致精度下降。為減少漂移,可采取以下措施:
1. 控制環境因素
(1) 溫度控制
恒溫環境:避免溫度波動,控制在 ±0.1°C 內
低熱膨脹材料:使用 Invar 合金、超低膨脹玻璃等
熱漂移補償:建立溫度-位移誤差模型...
降低納米位移臺熱漂移的方法
熱漂移是納米位移臺在長時間運行或環境溫度變化時常見的誤差,主要由于溫度變化導致材料的熱膨脹或收縮,進而影響位移臺的精度。為了降低熱漂移,可以采取以下措施:
1. 溫度控制與穩定
(1) 恒溫控制環境
恒溫室:將位移臺放置在溫控室內,保持溫度穩定在 ±0.1°C 或更高精度。
溫度監控系統:使用高精度溫度傳感器監測溫...
慣性滑移對納米位移臺有何影響?
慣性滑移(Inertial Slip)是指在高速或瞬態運動過程中,由于慣性效應導致納米位移臺(nanopositioning stage)實際位移與預期指令不完全一致的現象。這種現象會影響定位精度、響應速度和動態性能,主要影響如下:
1. 影響定位精度
在高速位移或突然停止時,由于慣性,納米位移臺可能會超過目標位置,產生位置漂移或超調...