納米位移臺(tái)的分辨率會(huì)受到溫度變化的顯著影響，這是因?yàn)椴牧系臒崤蛎洝Ⅱ?qū)動(dòng)器性能漂移以及控制系統(tǒng)誤差都會(huì)隨溫度改變而影響實(shí)際位移。
首先，位移臺(tái)的支撐結(jié)構(gòu)和平臺(tái)通常由金屬材料制成，這些材料會(huì)隨著溫度升高而膨脹，降低溫度時(shí)則收縮。即便溫度變化很小，微米級的長度也可能產(chǎn)生納米級的位移漂移，從而影響分辨率。
其次，納米位移臺(tái)中常用的壓電驅(qū)動(dòng)器會(huì)隨溫度變化出現(xiàn)性能漂移。高溫時(shí)壓電材料的驅(qū)動(dòng)效率下降，導(dǎo)致每個(gè)步長減小，低溫時(shí)可能出現(xiàn)滯后或響應(yīng)變慢，這都會(huì)使理論最小步長與實(shí)際位移不一致。
再者，閉環(huán)控制系統(tǒng)的傳感器如電容尺或光柵尺也會(huì)受到溫度影響，傳感器自身的熱膨脹或者電特性漂移，會(huì)導(dǎo)致位移反饋不準(zhǔn)確，從而降低實(shí)際分辨率。
溫度變化可能帶來的影響包括：在環(huán)境溫度緩慢變化時(shí)，位移臺(tái)整體漂移，重復(fù)定位誤差增加；在瞬時(shí)溫度波動(dòng)時(shí)，掃描或定位過程中會(huì)出現(xiàn)噪聲或抖動(dòng)，圖像或?qū)嶒?yàn)數(shù)據(jù)模糊；長期溫度偏差會(huì)導(dǎo)致材料應(yīng)力累積，閉環(huán)調(diào)節(jié)失效或者滯后增大。
為減緩溫度對分辨率的影響，可以采取一些措施：將納米位移臺(tái)放在溫度穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室或恒溫箱中，啟動(dòng)前讓設(shè)備和樣品充分熱平衡，使用低膨脹系數(shù)材料制作關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，通過閉環(huán)控制實(shí)時(shí)補(bǔ)償微小漂移，避免局部加熱。
總之，溫度變化會(huì)通過熱膨脹、驅(qū)動(dòng)器漂移和傳感器誤差綜合影響納米位移臺(tái)的實(shí)際分辨率，對于亞納米級精密定位來說，溫度控制和熱平衡是保證穩(wěn)定分辨率的關(guān)鍵。