主動減振系統在納米位移臺中的作用主要是通過動態調整和補償系統的振動來提高定位穩定性。以下是一些關鍵機制和方法：
實時振動監測和反饋：主動減振系統通過傳感器實時監測納米位移臺的振動，并將數據反饋給控制系統。控制系統根據這些數據計算所需的調整，并通過執行器進行相應的補償。
動態調整控制：系統使用控制算法（如PID控制、LQR控制等）來動態調整執行器的輸出，以補償振動。通過不斷調整，能夠有效地減少振動對定位精度的影響。
振動隔離：主動減振系統還可以通過隔離裝置（如隔振臺、隔振墊）減少外部振動源對系統的影響。這些裝置能夠有效地隔離環境振動，從而提高定位穩定性。
諧振頻率調整：通過調整系統的諧振頻率或引入負載補償，可以減少系統在特定頻率下的共振現象，從而提高穩定性。
高帶寬反饋：提高反饋系統的帶寬能夠更快速地響應振動變化，從而更有效地進行實時補償。這對于高頻振動尤為重要。
優化設計：在設計階段，考慮到系統的固有頻率、質量分布和剛度等因素，可以減少可能導致振動的因素，從而提高整體穩定性。
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