納米位移臺是一種用于實現納米級別位移控制和測量的設備，其掃描方式包括單軸掃描和多軸掃描兩種。
單軸掃描方式是指在一個固定的方向上進行掃描，例如只在X軸方向上進行掃描，通過改變X軸方向的信號控制位移臺上的探針位置來實現納米級別的位移控制和測量。
多軸掃描方式則是指在多個方向上進行掃描，例如在X、Y、Z三個方向上同時進行掃描，通過改變X、Y、Z三個方向上的信號控制位移臺上的探針位置來實現更加復雜的位移控制和測量，可以用于實現納米級別的三維成像等應用。
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