納米位移臺的響應速度通常是比較快的，但具體速度取決于驅動方式、負載、行程以及控制系統。
1. 驅動方式差異
壓電驅動型：響應時間可達到毫秒甚至微秒級，非常適合高速掃描、振動控制等場景。
電機絲杠/直線電機型：響應速度一般在毫秒到數百毫秒之間，速度稍慢但可實現較長行程。
2. 影響響應速度的因素
負載質量：負載越大，加速和減速所需時間越長。
控制器帶寬：高帶寬的控制系統可以更快響應指令。
運動模式：小步進點位移動快；長距離高速掃描會受慣性限制。
反饋系統：帶閉環反饋（如電容傳感器）的位移臺在高精度控制時速度可能會略低于開環。
3. 典型數值參考
壓電納米位移臺：響應時間可達 <1 ms，但行程通常在幾十到幾百微米。
電機驅動納米位移臺：響應時間 10–100 ms，行程可達數厘米。