納米位移臺的“慣性行走方式”是一種基于慣性原理的微納驅動方式，常用于壓電納米位移系統中。它也叫做慣性驅動（Inertial Drive），其核心思想是利用壓電材料在不同速率下產生的“粘-滑”效應，實現精密運動。
原理簡述：
慣性行走依賴于 快速與慢速驅動的不對稱響應：
慢速驅動階段：壓電陶瓷緩慢伸長或收縮，樣品臺或滑塊因為摩擦力較大，跟隨移動。
快速驅動階段：壓電陶瓷迅速回彈，由于加速度大，滑塊因慣性與壓電體脫離滑動或部分脫離，保持原位或略有滑動。
結果：整個周期下來，滑塊產生一個凈的微小位移。
連續重復這個周期，即可形成步進式運動。
特點：
無需螺桿或齒輪，適合微納尺度；
可以實現亞微米甚至納米級的定位精度；
常見于閉環或開環壓電納米驅動器；
驅動方式有時也叫做“stick-slip”運動。
優點：
結構緊湊，適合小空間環境；
能實現大行程與高分辨率結合；
驅動過程無電機噪音；
耗能低，控制靈活。