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傳統納米位移臺行程小,性能達不到要求怎么辦?

傳統納米位移臺行程小而微米電動臺分辯精度不高,性能無法達到要求。而壓電驅動納米位移臺,使用壓電陶瓷作為運動促動元件,可以在數百毫米范圍內實現亞納米級別的步長,正好解決了這一問題。目前壓電驅動納米位移臺在科研市場、半導體市場、先進制造業、生物醫藥行業、光學、通信等行業有廣泛應用。
壓電驅動納米位移臺特點
具有運動無需潤滑,真空兼容,可在從液氦溫區(-269攝氏度)至室溫的寬溫區內工作等優點。具有步進和掃描雙工作模式,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。
壓電驅動納米位移臺優勢
1、結構緊湊,高剛性。
2、室溫到液氦工作溫度,超高真空兼容。
3、壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命。
4、帶位移傳感器,提供位置和速度閉環控制。

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