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壓電二維納米位移臺

壓電二維納米位移臺

壓電二維納米位移臺,XYMF-133-100A平移臺實現了在XY二維空間上的準確定位,具有分辨率高,行程大(XY軸行程±50mm),帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡單,定位準確,能在真空下使用等優點,可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。

壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到亞納米級。步進和掃描雙模式工作,并且在宏觀行程范圍內同樣達到亞納米分辨率的定位。支持開環閉環控制。

XYMF-133-100A技術參數